北方华创微电子获合肥视涯显示科技Mic

年3月,北方华创微电子12英寸刻蚀机、PVD及立式退火炉获得合肥视涯显示科技有限公司的批量采购订单,标志着北方华创微电子半导体设备技术成功延伸应用于硅基OLED(Micro-OLED)这一新型显示领域。

视涯显示是一家从事硅基微型显示技术开发和生产的公司。公司致力于开发全球领先的微型显示器件——Micro-OLED显示技术,并计划在合肥建设12英寸晶圆厂,生产Micro-OLED显示器件,成为全球最大的Micro-OLED显示器件生产基地。

Micro-OLED是以单晶硅为有源驱动背板制作的OLED显示器件,区别于常规的利用非晶硅、微晶硅或者低温多晶硅薄膜晶体管(LPTS)为背板的AMOLED器件,其像素为传统显示器件的1/10,具有高分辨率、高集成度、低功耗、体积小、重量轻等优势。随着VR/AR的广泛应用,Micro-OLED等新型显示技术得以快速发展。据高盛预测,到年,VR和AR的软硬件年销售额将达到亿美元。

Micro-OLED是半导体技术与OLED显示技术完美结合的产物,可利用半导体制造工艺来实现。北方华创微电子利用半导体设备技术基础,已经成功的将金属刻蚀、介质刻蚀、金属溅射、氧化物溅射、中低温退火等工艺设备应用于Micro-OLED显示领域,相关设备可兼容多种衬底,具备灵活的工艺整合能力,满足新型显示领域客户多种制造工艺的要求。

北京北方华创微电子装备有限公司(简称“北方华创微电子”)的主营业务是由原七星电子的半导体装备相关业务与原北方微电子的全部业务整合而成。

七星电子成立于年9月,年3月在深圳证券交易所上市,是国内唯一集成电路装备上市公司,也是国家02科技重大科技专项的主要承担单位之一,清洗机、氧化炉、LPCVD(低气压化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)和气体质量流量控制器(MFC)等多个项目获得了政府科研项目资助。目前,多种高端集成电路关键设备批量进入大生产线,取得了良好的使用效果。同时,七星电子作为国内电力电子芯片装备、光伏电池装备、平板显示装备的主要供应商,与国内外行业龙头客户形成了长期友好的合作关系。

北方微电子成立于年10月,是由北京电控集团联合七星集团、清华大学、北京大学、中科院微电子所和中科院光电技术研究所共同出资,由国内半导体高端管理技术人才和海外专家为核心团队创建的专注于高端集成电路装备业务的高技术公司。公司以生产销售高端集成电路装备为主业,重点发展刻蚀设备(Etch)、物理气相沉积设备(PVD)和化学气相沉积设备(CVD)三大类设备,广泛应用于集成电路制造、先进封装、半导体照明(LED)、微机电系统(MEMS)等领域。北方微电子自成立以来先后得到了国家科技部“十五”集成电路制造装备重大项目及国家02科技重大专项的研发与产业化项目的科研资助。通过十余年的努力耕耘,已经发展成为中国大陆具有极强竞争力的高端微电子工艺装备制造企业,具有深厚的市场基础和良好的客户口碑。

重组后的北方华创微电子拥有中组部千人计划专家10人。产品涵盖:等离子刻蚀(Etch)、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、氧化/扩散、清洗、退火等半导体工艺装备;平板显示制造装备和气体质量流量控制器等核心零部件。涉及集成电路、先进封装、LED、MEMS、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域,产品行销全国各地及东南亚、欧美,是国内覆盖领域最广、产品种类最多、建设规模最大、综合实力最强的半导体装备旗舰平台。

在集成电路领域,由公司自主研发的14nm等离子硅刻蚀机、单片退火系统、LPCVD已成功进入集成电路主流代工厂;28nmHardmaskPVD、Al-PadPVD设备已率先进入国际供应链体系;12英寸清洗机累计流片量已突破60万片大关;深硅刻蚀设备也于去年一举告捷东南亚市场。这些丰硕的市场成果,标志着中国装备企业已经实现了集成电路装备制造技术的里程碑式跨越。

在先进封装领域,北方华创微电子开发的刻蚀机和PVD设备已在全球主要先进封装企业中得到了广泛应用。公司的先进封装PVD机台性能优异,在全球排名前三的CIS封装企业中稳居鳌头;所开发的TSV刻蚀设备在大陆地区最近几年的新增市场中亦实现了较高的市场占有率;同时应用于Bumping制程的Descum设备于年一经推出便收获了市场的积极







































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